洁净室一般包括三个部分：清洁区、准洁净区和辅助区。其中，洁净实验室的平面布置：(1)外廊绕绕：外廊可以有窗户，没有窗户，也可以用来参观和放置一些设备。其中一些在门廊外装有值班供暖设备，外窗必须采用双层密封窗。内走廊类型：洁净室位于周边，走廊位于内部。这条走廊的清洁程度一般较高，甚至与洁净室的级别相同。(3)两端式：清洁区域位于一侧，准清洁辅助室位于另一侧。芯型：为节约土地，缩短管道长度，可以把洁净区域作为中心，上下两侧均由各种辅助房间和隐蔽管道的空间包围。避免了室外气候对洁净地区的影响，降低了冷热能耗，有利于节能。
影响洁净实验室内空气流动的因素很多，例如工艺设备、人员、洁净室装配材料、照明用具等。同时，还应考虑生产设备上方气流的分配点。一般操作台或生产设备表面的气流分配点应位于洁净室空间与隔板之间的距离，以便操作人员工作时，气流可从加工区域内部流向操作区域，并可将灰尘带走。如果将分流点设置在加工区域的前面，就会成为一种不适当的气流分流，此时大部分气流会流向加工区域，操作人员操作所造成的粉尘将被带到设备的后面，工作台将受到污染，良好的风量不可避免地会降低。洁净室的工作台等障碍物会在下一个地方产生漩涡现象，附近的清洁度也会比较差。在工作台上钻回风孔会将涡流现象降到比较低；装配材料的选择是否合适，设备布置是否完善，气流是否已成为涡旋现象的一个重要因素。
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